불화수소는 무엇인가

최근 일본의 수출규제 품목 중 가장 핵심적인 품목으로 불화수소가 언급되고 있는데,

 

반도체 산업에서 불화수소의 역할과 국산화 관련 이슈를 정리해보겠습니다.

 

먼저 불화(플루오린화) 수소는 실리콘이나 붕소의 산화물과도 잘 반응하여 반도체 제조공정 중 에칭(식각) 공정과 불순물을 제거하는 과정에서 사용되며 이러한 이유에서 99.99% 이상의 순도를 가진 불화수소를 에칭 가스라고도 부릅니다.

 

일본이 수출하는 불화수소는 그중에서도 고순도 불화수소(에칭가스)에 해당되며, 고순도 불화수소를 이용할 경우, 제품 생산 과정에서 불량률이 감소하고 제품의 품질 또한 보장할 수 있습니다.

 

현재 일본의 고순도 불화수소 생산량은 전세계의 70%를 점유하여 국내 반도체 기업들 또한 일본에 대한 의존도가 상당히 높았습니다.

 

수출규제가 100% 수출을 하지 않는다는 의미는 아니지만, 기존보다 훨씬 복잡하고 까다로운 심사를 통해 계약마다 일본으로부터 허가를 받아야한다는 점과, 신청과 심사 과정만으로 3개월 이상이 걸린다는 점에서 제품을 생산하는 입장에서 큰 타격이 될 수 있습니다.

 

이에 대한 대책으로는 타국가로부터의 수입과 국산화가 있는데,

 

우리나라의 경우 2012년 경북 구미 불화수소 공장에서 가스 누출 사고로 인해 공장 근로자 5명이 사망, 18명이 부상, 2013년 삼성전자 화성공장 불산 누출로 1명 사망, 4명 부상을 당하는 등 일련의 사건으로 인한 환경규제(화학물질의 등록 및 평가법, 화학물질 관리법, 산업안전보건법) 등으로 인해 현재까지 국내 생산이 이뤄지지 않고 있던 실정입니다.

 

이러한 환경 규제로 인한 검사과정에서 기존보다 비용부담이 급증되며 중복규제 등으로 인해, 불화수소 생산이 쉽지 않았으며, 국산화를 위한 환경 규제 완화 방침에 많은 관심이 집중되고 있습니다.

 

기업에서는 원활한 불화수소 공급을 위해 국산화에 대한 움직임이 보이고 있으며, 삼성전자와 LG 디스플레이, SK하이닉스 등 기업들이 불화수소 국산화에 나서며, 이러한 수출규제로부터의 해결책을 모색하고 있습니다.

 

 

하지만 국산화를 한다고 해도 당장 생산에 지장을 주지 않을 정도의 불화수소를 국내 생산으로 충당할 수는 없는데, 최근 중국과 러시아의 불화수소 수출제안 등 일본 이외의 국가로부터 수입하는 방법도 존재합니다.

 

국내 반도체 업계는 현재 일본산 불화수소를 대체할 국산, 중국산, 대만산 제품으로 추정되는 불화수소에 대한 품질검증 테스트에 착수하였으며, 제품 조달 여부를 판단하는데까지 2~3개월 정도의 시간이 소요될 것으로 관측됩니다.

 

현재 일본의 수출규제로 국내 반도체 업계는 기존보다 국산 불화수소 사용량을 증가시키는 등 1분기 정도의 생산에는 지장이 없을 것으로 보이며, 품질검증을 통해 일본산 불화수소 대체가 가능하다면 반도체 생산에도 큰 지장이 없을 것으로 전망하였습니다.

 

이러한 과정을 통해서 우리가 국제적 경쟁력을 갖추기 위해서는 첨단 기초기술에 대한 필요성과 기술 개발을 위한 끊임없는 노력이 강구된다는 것을 알 수 있습니다.