불화수소는 무엇인가
2019. 7. 17.
최근 일본의 수출규제 품목 중 가장 핵심적인 품목으로 불화수소가 언급되고 있는데, 반도체 산업에서 불화수소의 역할과 국산화 관련 이슈를 정리해보겠습니다. 먼저 불화(플루오린화) 수소는 실리콘이나 붕소의 산화물과도 잘 반응하여 반도체 제조공정 중 에칭(식각) 공정과 불순물을 제거하는 과정에서 사용되며 이러한 이유에서 99.99% 이상의 순도를 가진 불화수소를 에칭 가스라고도 부릅니다. 일본이 수출하는 불화수소는 그중에서도 고순도 불화수소(에칭가스)에 해당되며, 고순도 불화수소를 이용할 경우, 제품 생산 과정에서 불량률이 감소하고 제품의 품질 또한 보장할 수 있습니다. 현재 일본의 고순도 불화수소 생산량은 전세계의 70%를 점유하여 국내 반도체 기업들 또한 일본에 대한 의존도가 상당히 높았습니다. 수출규제가..